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      如何及時(shí)獲取真空泵的異常狀態(tài)數(shù)據(jù),實(shí)現(xiàn)預(yù)測性維護(hù)

      2023-11-21 11:18:45
      真空泵是在許多工業(yè)領(lǐng)域中廣泛使用的重要設(shè)備。它們通常用于從封閉容器中移除氣體或液體以維持真空狀態(tài),這樣可以保證制造加工過程的干凈和穩(wěn)定,被廣泛應(yīng)用于電子、半導(dǎo)體、化學(xué)和制藥等多個(gè)領(lǐng)域。
       
      如在半導(dǎo)體工廠中,許多步驟都需要在真空環(huán)境下進(jìn)行,例如沉積、刻蝕、清洗等,而真空泵是創(chuàng)造和維持這種真空環(huán)境的重要設(shè)備,因此保證真空泵良好穩(wěn)定的運(yùn)行,便能確保產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率。
       
      通常情況下,真空泵的狀態(tài)監(jiān)測是基于設(shè)備運(yùn)行過程產(chǎn)生的信號信息,如振動數(shù)據(jù)、壓力數(shù)據(jù)、溫度數(shù)據(jù)等。這些數(shù)據(jù)切實(shí)反映了真空泵的工作狀態(tài),若是超出安全閾值便有可能是設(shè)備故障。因此,通過監(jiān)測這些數(shù)據(jù),我們可以了解真空泵的狀態(tài),并及時(shí)預(yù)測可能的故障原因,從而實(shí)現(xiàn)對真空泵的預(yù)測性維護(hù)。
       
      1、數(shù)據(jù)接入:通過真空泵PLC和傳感器的數(shù)據(jù)接入到數(shù)之能設(shè)備運(yùn)維管理平臺中,可以實(shí)現(xiàn)溫度、壓力、振動、真空度等數(shù)據(jù)的可視化處理。
       
      2、故障報(bào)警:通過設(shè)置報(bào)警閾值與通知方式,在獲取到設(shè)備故障數(shù)據(jù)時(shí)就會自動報(bào)警,在平臺中生成故障記錄,并通過微信、短信、郵件、APP等進(jìn)行通知。
       
      3、數(shù)據(jù)分析:通過自定義數(shù)據(jù)報(bào)表實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)智能分析,如多個(gè)設(shè)備同一參數(shù)、多個(gè)時(shí)間同一參數(shù)等,從而合理優(yōu)化設(shè)備產(chǎn)能、性能、能耗、工藝等。
       
      4、運(yùn)維管理:故障報(bào)警快速生成運(yùn)維工單,工程師快速接單,記錄維護(hù)日志,方便隨時(shí)跟蹤處理進(jìn)度;此外,平臺也提供遠(yuǎn)程維護(hù)調(diào)試和遠(yuǎn)程上下載程序等操作。
       
      5、預(yù)測性維護(hù):根據(jù)設(shè)備故障頻率、報(bào)警數(shù)據(jù)、運(yùn)維記錄等有效評估設(shè)備運(yùn)行性能與故障風(fēng)險(xiǎn),從而建立起預(yù)測性維護(hù)與備品備件管理的智能系統(tǒng)。
       

       

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